净化工程洁净室,也叫无尘车间、无尘室或清净室,是个低污染水平的环境,污染来源包含灰尘、空气传播的微生物、悬浮颗粒和化学挥发性气体等。其有受控的污染级别,可用每立方米颗粒数或最大颗粒大小厘定。
运用范围广泛
在对环境污染特敏感的行业,净化工程洁净室广泛运用。半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、医院等都适用。尤其半导体业,对室内温湿度、洁净度要求非常严格,必须控制在特定范围,否则影响制程。作为生产设施,洁净室可占厂房很多位置。
关键技术元素

洁净室有四大技术要点。送风要经过至少三级过滤(粗效、中效和高效),高效过滤器设系统末端。要有足够净化和空调送风量。要维持必要压力梯度(正压或负压梯度)。还要有合理气流组织。
多元类别的划分
按气流流型洁净室可分多种类型。单向流(层流)洁净室里,又有垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。单向流气流靠活塞和挤压原理,用洁净气流置换污染气流。垂直单向流气流以一定速度(0.25m/s - 0.5m/s)从顶棚流向地坪,能创造高洁净级别,但初投资和运行费高,工程中使用面积常压缩到最小。非单向流洁净室则气流较分散。混合流洁净室结合不同气流特点。矢流洁净室有独特气流形式。
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