光刻净化车间必要要使用黄光灯管的原因有哪些

光刻是集成电路（IC或芯片）制造的重要过程之一。简单地说，它是一个利用光掩膜和光刻胶在基板上复制电路图案的过程。

基板将涂上硅二氧化绝缘层和光刻胶。紫外线照射后，光刻胶可以很容易地用显影剂溶解，然后腐蚀后，电路图案将留在基板上。

无尘室（Cleanroom）去除空间内空气中的灰尘颗粒和其他污染物，获得相当干净的环境，常用于高精度制造业，包括半导体制造、生物技术、精密机械、医疗等，包括半导体行业对室内温度、湿度、清洁度要求最严格，必须控制在一定的需求范围内，不会影响过程。

关于为什么光刻区选择黄光：

光刻胶的感光范围通常位于200nm-500nm，这意味着光在这个范围内会引起光刻胶的化学反应。200-500nm的光线有紫外线、紫光和蓝光，所以这三种光线在光刻区根本不存在。

半导体无尘室之所以使用黄光，主要是因为微影制作过程（photolithography）相关的，它是半导体制造的关键步骤之一，利用光穿透印有电路图的光罩和光阻，在硅芯片上打印电路图。

在此过程中，二氧化硅绝缘层的硅晶圆将涂上光阻，并在上面覆盖光罩（特定位置的洞）。通过紫外线照射，光阻变得容易溶解，特定位置的光阻用显影液溶解，然后蚀刻，只蚀刻到特定位置的二氧化硅，其他地方受光阻保护。蚀刻完成后，去除剩余的光阻，完成微影工艺。

黄光比白光或其他颜色更柔和，因此不太可能在设备或晶圆表面产生耀眼的反射或眩光。黄光的使用可以确保敏感化学物质或其他材料的颜色不会受到其他光源的影响或扭曲。与其他光源相比，黄光对人眼更友好，特别是在长时间的手术中，以减少眼睛的疲劳和刺激。

光刻无紫外线T8 1.2m黄光LED灯管简介：

旧T8荧光灯管可直接更换。

具有紫外线保护功能，阻挡500纳米以下的紫外线波长。

质量稳定，过热、过流、短路保护。

5万小时使用寿命，开关周期超过1.5万次。

铝和PC材料，无汞。